제품 특징
여러 버전(PLC/PC) 및 다양한 주류 통신 프로토콜 지원
SEMI 안전 생산 표준에 따라 설계 및 생산이 수행됩니다.
높은 채널 설계 용량, UPH400~550pcs;
다양한 제품 크기와 잡지에 적합합니다.
MFC 웨이퍼 레벨 특허 설계로 가스 누출로 인한 안전 사고를 방지합니다(수소와 같은-위험이 높은 가스 지원).
최대 5pa의 높은 밀봉 챔버 특허 디자인;
물 접촉각<10° (related to the material of product surface);
4개 제품 동시 처리를 위한 4개 채널 설계, 이중 바닥 전극 사용, 기판 출입 시간 단축, 효율성 대폭 향상, 처리 시 제품 균일성 보장.
기술 사양
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기능 구성 |
기술적인 매개변수 |
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L×W×H(mm) |
L1600×W1150×H1700 |
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장비 |
순중량(kg) |
1000 |
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주변 틈새(mm) |
뒷면 600, 양쪽 600 |
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방 |
용량(L) |
약 9 |
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채널(번호) |
4 |
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하부전극(개) |
2(전환 기능) |
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수유 모드 |
잡지 |
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적응제품치수(mm) |
폭:40-100 길이:150-300 |
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전극 |
전극 치수(mm) |
528×300 |
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RF 전원 공급 장치 |
표준전력(kW) |
1 |
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주파수(MHZ) |
13.56 |
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가스 제어 |
최대 3개 채널 |
2채널(표준), 3채널(옵션) |
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제어 시스템 |
인간-기계 인터페이스 |
PC+터치스크린 |
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원격 인터페이스 |
의사소통 |
선택 과목 |
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진공펌프 |
선택적 건식 펌프 |
17CFM |
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옵션 오일 펌프 |
195CFM |
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퍼지 기능이 있는 건식 펌프 옵션 |
예 |
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질소 퍼지 유량(SLM) |
2 |
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진공청소시간(S) |
10月15日 |
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진공파괴시간(S) |
3-4 |
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공장시설 |
전원공급장치 |
삼-상 380V50/60Hz 4.5kW(오일펌프) |
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공정 규모 및 유형 |
1/4인치 스웨즈락 |
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공정 가스의 순도 |
산업용 등급 이상 |
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공정가스의 압력(psig) |
10-20 |
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퍼징 가스 파이프라인의 치수 및 유형 |
1/4인치 스웨즈락 |
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퍼지 가스 순도 |
산업용 등급 이상 |
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퍼징가스압력(psig) |
15 |
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공압 치수 및 유형 |
10mm 푸시-인 피팅 |
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공압가스의 순도 |
압축 공기, 오일{0}} 없음, 이슬점 7도 이하, 입자<5 |
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공압가스의 압력(psig) |
70-90 |
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압축공기(mm) |
∅8 |
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규정 준수 |
인증 |
두 가구 연립 주택 |
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보조 장비 |
질소발생기(옵션) |
질소 퍼지용 옵션 |
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워터 쿨러(옵션) |
전극 냉각용 옵션 |
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수소 키트(옵션) |
수소 처리를 위한 선택 사항 |
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배기가스 처리기(옵션) |
불소 배기 처리용 옵션 |
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운송 |
총중량(kg) |
1050 |
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패키지 수 |
1 |
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SPM15 표준에 따른 포장 |
예 |
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인기 탭: VP-10S 자동 진공 플라즈마 처리 시스템,VP-10S 자동 진공 플라즈마 처리 시스템