제품 특징
1. 진공 챔버의 스테인레스 스틸;
2. 초저온 - 온도는 40도 정도로 낮습니다.
3. 전방향 표면 청소 - 청소를 위해 다양한 플라즈마가 초미세 슬릿에 들어갈 수 있습니다.-
4. 환경 보호 -처리 전후에 유해한 물질이 생성되지 않으며 인체에 유해한 용매를 멀리하십시오.
5. 안정성 -작동 중 기계 및 장비의 안정성을 유지하기 위한 연속성과 불변성
6. 청소 -먼지와 기름을 제거하고 정밀한 청소와 정전기를 제거하십시오.
7. 흥분 -표면의 접착력을 향상시키고 물체의 표면 에너지를 크게 증가시킵니다.
8. 판 박리 - AF/AS 레이어 플래티 스트리핑.
기술 사양
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기능 구성 |
기술적인 매개변수 |
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모델 |
VP-60L |
VP-80L |
VP-100L |
VP-150L |
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치수(mm) |
L=1200; W=920; H=1690 |
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진공챔버 치수(mm) |
L=403; W=400;H=403 |
L=450; W=400;H=450 |
L=470; W=460;H=470 |
L=500; W=600;H=500 |
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진공챔버 재료 |
스테인레스 스틸 |
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전극판 치수(mm) |
319(L)×374(W) |
320(L)×420(W) |
380(L)×440(W) |
520(L)×470(W) |
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전극판 재료 |
특수 알루미늄 전극 |
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무게(kg) |
560 |
580 |
630 |
680 |
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제어 |
PLC+ 터치스크린 |
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전극판 구조 |
수평 8층 |
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진공 펌프 시스템 |
2-단 회전판 진공 펌프/루츠 진공 펌프 |
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진공 측정 체계 |
필라니 저항 진공 게이지 |
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가스 측정 체계 |
고정밀 질량유량계 |
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플라즈마 발생기 |
고정밀 0-500W 플라즈마 발생기 |
높은 정밀도 0-1000W 플라즈마 발생기 |
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플라즈마 매칭 유닛 |
고정밀 0-500W 자동 매칭 장치 |
높은 정밀도 0-1000W 자동 매칭 단위 |
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진공작업 |
10-100 Pa |
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한계 압력 진공 펌프 |
5×10-1 Pa |
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달성할 시간 진공 시간 |
55 이하 |
70 이하 |
80 이하 |
100 이하 |
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출시 시간 진공 시간 |
15 이하 |
20 이하 |
25 이하 |
30 이하 |
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가스 제어 범위 (sccm) |
질량 흐름 0-300(선택 사항) |
질량 흐름 0~500(선택사항) |
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무선 주파수 전원 공급 장치(w) |
0-500 (범위 내에서 조정 가능) |
0-1000(범위 내에서 조정 가능) |
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작동 모드 |
수동, 하나의 키 자동 작동 |
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전원공급장치 |
삼상 380V |
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정격전력(kw) |
4 |
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인기 탭: VP 시리즈 플라즈마 처리 시스템,VP 시리즈 플라즈마 처리 시스템